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一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器，属于中红外光探测技术领域。本实用新型包括自下而上依次层叠设置的硅衬底、二氧化硅层、石墨烯层以及覆盖在石墨烯层上的三氧化钼微纳结构阵列；三氧化钼微纳结构阵列与石墨烯层形成声子激元增强的异质结构；石墨...
该专利属于深圳激子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳激子科技有限公司授权不得商用。

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