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一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器制造技术
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下载一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器的技术资料
文档序号:23181636
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本实用新型提供一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器,包含二氧化硅基底、布拉格反射器和金属薄膜;布拉格反射器和金属薄膜依次设于二氧化硅基底上;布拉格反射器由高折射率薄膜层和低折射率薄膜层由上至下交替设置而成,布拉格反射器与金属薄膜的接触面...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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