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探针卡及晶圆测试设备制造技术
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下载探针卡及晶圆测试设备的技术资料
文档序号:23180108
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一种探针卡及一种晶圆测试设备,所述探针卡包括:电路板;两个以上的探针单元,位于所述电路板一侧表面上,包括若干探针;升降单元,连接所述探针单元与所述电路板,用于调整所述探针单元的高度。所述探针卡的各个探针单元高度能够单独调节。...
该专利属于德淮半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。
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