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本实用新型涉及磁控溅射阴极，公开了一种高靶材利用率的矩形磁控溅射阴极，其核心部件为磁钢组和磁轭组成的磁路模块，磁钢组通过磁力与磁轭连接，磁路模块包括两个磁钢组，两个磁钢组内的磁钢数量相同且左右对称分布，每侧的磁钢组包括磁路互相闭合的两列磁钢...该专利属于中核包头核燃料元件股份有限公司;杭州朗为科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中核包头核燃料元件股份有限公司;杭州朗为科技有限公司授权不得商用。