下载一种实验室用晶圆切割器的技术资料

文档序号:23171572

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本实用新型涉及晶圆作业技术领域,公开了一种实验室用晶圆切割器,包括底座,底座的上端固定有圆柱形的主轴;主轴上端设有位置可调节的方形载物台;载物台上等间距设有辅助定位晶圆解理边的两列晶圆找平顶针;两列所述晶圆找平顶针呈L形分布在载物台上端面的...
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