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检查系统的一个示例包括激光器、放大变换器和第一相机。激光器将线投射到待检查的晶片上。放大变换器包括多个不同放大倍率的可选择透镜。第一相机对投射到晶片上的线成像，并且输出指示晶片的特征的高度的三维线数据。放大变换器的每个透镜提供第一相机相对于...
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