温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出一种晶圆缺陷识别方法、装置和终端设备，其中，所述方法包括：接收待识别的测试晶圆图片；将所述测试晶圆图片输入晶圆缺陷识别模型，以识别所述测试晶圆图片的晶圆缺陷；其中，所述晶圆缺陷识别模型是根据训练数据对卷积神经网络训练生成或更新的；...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。