下载相位差元件的制造方法、相位差元件及投射型图像显示装置的技术资料

文档序号:23160942

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本发明提供耐湿性优异的相位差元件的制造方法。在利用斜角蒸镀在基板上形成光学各向异性层后,通过利用原子层沉积法沉积无机化合物的保护层来包覆该光学各向异性层。具体而言,包括透明基板、包含双折射膜的光学各向异性层、和保护层的相位差元件的制造方法,...
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