下载一种精密光学表面微弱缺陷显微照明方法及装置的技术资料

文档序号:23160615

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本发明涉及一种精密光学表面微弱缺陷显微照明方法及装置,属于机器视觉检测领域。该照明装置包括照明光源、照明光学模组、光源连接支架和照明控制器。相机采集缺陷图像时,照明光源从多个角度和多个方位对视场内缺陷进行无死角打光,从而得到缺陷更多的散射能...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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