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本发明提供一种基于微机电系统的强促渗透皮释药微系统及其制造方法。该系统包括：由下至上键合在一起的第一硅片基体、第二硅片基体和第一SOI硅片；在第一硅片基体上形成有由若干个微针组成的微针阵列，每个微针均包括微针针尖、微针针体和微针空腔；第一硅...
该专利属于河南大学所有，仅供学习研究参考，未经过河南大学授权不得商用。

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