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一种高品质因数的杂化等离激元谐振器制造技术
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文档序号:23152051
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本发明公开了一种高品质因数的杂化等离激元谐振器,所述谐振器为层状结构,其中最上层为传感区域层,最下层为大面积金属地,大面积金属地的上层为介质基片,传感区域层的下层为谐振器本体和微带线所在的传输层;谐振器本体为人工局域表面等离激元谐振结构和扇...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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