下载利用四甲基胍有机碱在单晶硅表面制绒的方法的技术资料

文档序号:23151805

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本发明公开了一种利用四甲基胍有机碱在单晶硅片制绒的方法,首先清洗硅片,然后以去离子水位溶剂,配制四甲基胍和异丙醇混合溶液,其中四甲基胍的体积比为10%,异丙醇的体积比为7%,80℃的水浴锅中预热备用;将硅片放入制绒液中,80℃下水浴加热35...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。

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