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本发明公开了一种通过重复利用无氮黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法，包括：(1)将硅片浸入含有铜盐、氢氟酸和双氧水的黑硅制绒液中进行制绒；(2)用去离子水清洗制绒后的硅片，吹干；(3)采用包含选自氢氟酸、盐酸、硫酸和醋酸中的一种或多种酸以及双氧...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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