下载基于双面金属光波导热增强刻蚀SERS芯片的方法的技术资料

文档序号:23147301

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本发明公开了一种基于双面金属光波导热增强刻蚀SERS芯片的方法,包括如下步骤:第一步:玻璃片处理;第二步:蒸发镀膜法镀厚银膜;第三步:磁控溅射法镀薄银膜;第四步:制成SERS芯片。本发明的操作简单,不需要复杂的操作步骤并且对环境温度没有要求...
该专利属于南通大学所有,仅供学习研究参考,未经过南通大学授权不得商用。

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