下载一种半导体切片废液中碳化硅的提纯分析方法的技术资料

文档序号:23147132

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本发明提供了一种半导体切片废液中碳化硅的提纯分析方法,包括A、反应液配置:该反应液包括如下组分:5~10重量份的氟化氢铵、20~60重量份质量分数为10%~50%的硫酸溶液或20~50重量份浓度为1~3mol/L的盐酸溶液;B、杂质去除:将...
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