下载一种DLC连续镀膜生产线及镀膜工艺的技术资料

文档序号:23144297

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本发明提供了一种DLC连续镀膜生产线,包括呈直线依次连接的进口室、进口缓冲室、进口过渡室、第一工艺室组、隔离室、第二工艺室组、出口过渡室、出口缓冲室和出口室,形成连通的直线通道,以及和所述直线通道平行间隔布置的回架组,所述第一工艺室组和第二...
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