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一种激光加工方法，该方法的核心是采用制冷装置使蒸气在被加工物表面冷凝形成冰霜层，激光烧蚀产生的碎屑溅落在冰霜层上，冰霜层融化或脱落时可以方便地将碎屑清除，降低了烧蚀碎屑附着于被加工物的风险；同时，在激光辐照区域的冰霜层被激光加热后融化，在激...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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