【技术实现步骤摘要】
激光加工的方法
本专利技术涉及激光加工方法，特别是一种实现无碎屑的激光加工的方法。
技术介绍
激光烧蚀加工是通过在极短的时间内将激光能量集中在微小的区域，从而使固体升华、蒸发的加工方法。例如切割、划线、打标、刻槽、图案化、钻孔，都是利用脉冲激光在聚光点处的高功率密度输出，使得材料瞬间气化或融化，从而实现材料的去除。到目前为止，激光烧蚀加工技术的主要困难在于加工过程中材料碎屑的形成。这些碎屑是由于激光烧蚀产生的高温蒸气过度冷却、凝固形成的，粘附性较强，很难清除掉。碎屑通常散布在烧蚀图样表面附近和刻槽内，并且可能挡住下一次扫描时激光光束传播的路径。因此，碎屑的形成不仅影响了器件的外观和性能，也降低了烧蚀效率。近年来，已有一些方法来解决烧蚀碎屑的沉积问题。比如用快速流动的水形成液体薄膜来辅助加工(参见CN201220023351.0)，但水膜容易被激光破坏，产生的气泡大量地向外喷射，阻挡了激光光束的传播。另一种解决途径是在待加工表面涂敷水溶性的高分子保护膜作为保护层(参见CN201611040545.0)，以收集碎屑颗粒。...
【技术保护点】
1.一种激光加工方法，特征在于该方法包括下列步骤：/n1)冰霜层形成：利用制冷装置在待加工物的表面冷凝形成一薄层冰霜层；/n2)激光烧蚀加工：隔着所述覆盖层对待加工物照射激光束，从而对待加工物面实施烧蚀加工；/n3)去除冰霜层：使被加工物表面升温，冲洗去除含有碎屑的冰霜层，获得高质量的激光烧蚀结构。/n
【技术特征摘要】
1.一种激光加工方法，特征在于该方法包括下列步骤：
1)冰霜层形成：利用制冷装置在待加工物的表面冷凝形成一薄层冰霜层；
2)激光烧蚀加工：隔着所述覆盖层对待加工物照射激光束，从而对待加工物面实施烧蚀加工；
3)去除冰霜层：使被加工物表面升温，冲洗去除含有碎屑的冰霜层，获得高质量的激光烧蚀结构。
2.如权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于所述的激光加工是实施通孔或切割加工时，则应在待加工物的双面都形成一薄层冰霜层。
3.如权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述的被加工物表面为平面或任意曲面。
4.如权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，所述冰霜层由气态物质在低温的被加工物表面冷凝形成，冰霜层的厚度在0.5微米至1毫米之间。
5.如权利要求1所述的激光加工方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖洋，岳研，王旋，陈俊驰，彭宇杰，冷雨欣，李儒新，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31
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