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一种激光微孔加工的光束扫描系统，包括二维光束扫描系统、光束分光位移装置及聚焦镜；光束到达所述二维光束扫描装置后，所述二维光束扫描装置改变光束方向后使光束投射至所述光束分光位移装置，所述光束分光位移装置将光束分成相对于所述聚焦镜的中心轴的夹角...
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