下载固晶装置的测力机构的技术资料

文档序号:23135414

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本实用新型公开一种固晶装置的测力机构,该固晶装置的测力机构包括滑座以及设置在所述滑座上的吸嘴部件、第一弹性缓冲件和测力传感器,所述吸嘴部件包括吸嘴头和活动地穿设于所述滑座的吸嘴杆,所述吸嘴杆的底端与所述吸嘴头连接,所述吸嘴杆的顶端与所述第一...
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