下载一种研磨硅片调整装置的技术资料

文档序号:23108986

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本实用新型公开了一种研磨硅片调整装置,包括调节架,调节架顶端安装有顶板,顶板下端内部安装有燕尾槽,燕尾槽内部安装有导向块,导向块中部通过螺纹孔连接于第一丝杆,第一丝杆右端安装有驱动手柄,导向块下端铰接有升降杆,升降杆下端铰接有升降板,升降板...
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