温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

具有隔热结构的薄膜体声波谐振器及其制备方法涉及微机电系统技术领域，解决了对红外辐射的响应度低的问题。FBAR包括基底、隔热结构、底电极、压电层和顶电极，基底上设有凹槽，底电极通过隔热结构连接基底，底电极位于凹槽的上方，底电极在凹槽底面所在的...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。