下载一种台面型肖特基集电区NPN SiGe HBT器件及其制备方法的技术资料

文档序号:23101101

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本发明提供一种台面型肖特基集电区NPN SiGe HBT器件,包括N型轻掺杂单晶硅衬底,N型轻掺杂单晶硅衬底表面顺序层叠有N型重掺杂单晶硅层、金属硅化物薄层、P型重掺杂Si...
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