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本公开提供一种MOEMS二分量加速度传感器、测量系统及工作方法。其中，MOEMS二分量加速度传感器包括硅基振动敏感结构，其包括硅微质量块，硅微质量块的四个端点分别与一梯形结构的蛇形悬臂梁相连；硅微质量块的四个端点在同一平面内且构成的两条斜对...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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