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一种基于光程可变的多反射镜激光动态聚焦系统技术方案
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文档序号:23092815
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本发明公开了一种基于光程可变的多反射镜激光动态聚焦系统,所述基于光程可变的多反射镜激光动态聚焦系统由可调激光聚焦系统、多反射镜动态聚焦系统以及安装基座组成。本发明采用由反射镜构成的可变光程光路系统实现对聚焦系统出射的光束进行光斑位置变焦的功...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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