下载一种振镜校正系统及其校正方法的技术资料

文档序号:23092814

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本发明公开了一种振镜校正系统,包括光路发射器,用于发射出光束;振镜控制系统,用于控制光路发射器发射出的光束偏转打出标靶阵列、并将标靶阵列烧结到振镜校正系统上;振镜校正系统用于接受光路发射器发出的光束,从而形成标靶阵列以及生成振镜补偿文件。振...
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