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具有贯穿衬底通孔核心的三维互连多裸片电感器制造技术
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下载具有贯穿衬底通孔核心的三维互连多裸片电感器的技术资料
文档序号:23089820
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本发明提供一种半导体装置,其具有第一裸片及第二裸片。所述装置的所述第一裸片包含:第一表面;及贯穿衬底通孔TSV,其至少基本上延伸穿过所述第一裸片,所述TSV具有延伸超过所述第一表面的部分。所述第一裸片进一步包含围绕所述TSV安置的第一基本上...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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