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本发明公开了一种版图各区域内的刻蚀沟槽深度的模拟获取方法，包括步骤：以独立多边形为单元对版图进行划分；计算各独立多边形的权重线宽；将各独立多边形的权重线宽代入到刻蚀模型中计算得出各独立多边形对应的第一刻蚀沟槽深度；采用窗格切分法对版图进行切...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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