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本发明提供一种高精度配气方法及装置，该方法采用多个具有相同额定流程的单一流程的流量控制器实现；该方法包括：接收预设配气浓度值并据此确定用于输入样气的流量控制器的个数m以及用于输入底气的流量控制器的个数n；将m个流量控制器与样气通道连通，n个...
该专利属于中国计量科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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