一种高精度配气方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种高精度配气方法及装置，该方法采用多个具有相同额定流程的单一流程的流量控制器实现；该方法包括：接收预设配气浓度值并据此确定用于输入样气的流量控制器的个数m以及用于输入底气的流量控制器的个数n；将m个流量控制器与样气通道连通，n个流量控制器与底气通道连通。该装置包括：多个具有相同额定流程的单一流程的流量控制器；进气控制阀，与流量控制器的进口端相连；处理器，与进气控制阀相连，用于将m个流量控制器与样气管道相连通，将n个流量控制器与底气管道相连通。本发明专利技术能避免高精度流量计的修正系数带入最终的配气浓度计算中，实现高精度配气。

A high precision gas distribution method and device

【技术实现步骤摘要】
一种高精度配气方法及装置
本专利技术涉及配气
，尤其涉及一种高精度配气方法及装置。
技术介绍
配气是将一定浓度的标准气体按预定比例精确地配置(稀释)出来，可用于标准气体配比、稀释、仪表线性测试等。现有技术中，如中国专利文献CN203075910U将多个流量可调控的流量控制器与同一个出口通道相连，通过控制各流量控制器对各路气体流量的比值调整实现气体的稀释、混合过程。此时，该多个流量控制器的误差不可避免地混入了配气过程，最终配出的气体浓度误差较大。由于对配气浓度的精度要求，高精度配气一直是配气
追求的目标。
技术实现思路
本专利技术的特征和优点在下文的描述中部分地陈述，或者可从该描述显而易见，或者可通过实践本专利技术而学习。为解决现有技术的问题，本专利技术提供一种高精度配气方法，采用多个单一流程的流量控制器实现，所述多个单一流程的流量控制器具有相同额定流程；所述配气方法包括步骤：接收预设配气浓度值；根据所述预设配气浓度值确定用于输入样气的流量控制器的个数m，以及用于输入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度配气方法，其特征在于，采用多个单一流程的流量控制器实现，所述多个单一流程的流量控制器具有相同额定流程；所述高精度配气方法包括步骤：/n接收预设配气浓度值；/n根据所述预设配气浓度值确定用于输入样气的流量控制器的个数m，以及用于输入底气的流量控制器的个数n；/n将m个流量控制器与样气通道连通，n个流量控制器与底气通道连通。/n

【技术特征摘要】
20180702 CN 20181070735521.一种高精度配气方法，其特征在于，采用多个单一流程的流量控制器实现，所述多个单一流程的流量控制器具有相同额定流程；所述高精度配气方法包括步骤：
接收预设配气浓度值；
根据所述预设配气浓度值确定用于输入样气的流量控制器的个数m，以及用于输入底气的流量控制器的个数n；
将m个流量控制器与样气通道连通，n个流量控制器与底气通道连通。


2.根据权利要求1所述的高精度配气方法，其特征在于，所述将m个流量控制器与样气通道连通，n个流量控制器与底气通道连通之后，包括：
将与样气通道连通的流量控制器记为第一流量控制器，与底气通道连通的流量控制器记为第二流量控制器；并根据所述第一流量控制器及所述第二流量控制器的实际流量值计算实际配气浓度值。


3.根据权利要求2所述的高精度配气方法，其特征在于，所述实际配气浓度值Cp＝F1*C0/(F1+F2)；其中，C0为样气浓度值；F1为所有所述第一流量控制器的实际流量值之和；F2为所有所述第二流量控制器的实际流量值之和。


4.根据权利要求2所述的高精度配气方法，其特征在于，所述第一流量控制器及所述第二流量控制器的实际流量值由同一个高精度流量计测量得到。


5.一种高精度配气装置，包括样气通道、底气通道、出口通道，其特征在于，所述高精度配气装置包括：
多个单一流程的流...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘沂玲，李士良，张建伟，黄鹏，王振，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：北京;11