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中国科学院半导体研究所
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基于微谐振腔的集成化光学频率梳制造技术
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文档序号:23084244
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本发明公开了一种基于微谐振腔的集成化光学频率梳,包括:半导体激光器芯片、光放大器芯片、微谐振腔以及温度控制器;芯片之间的耦合是利用模斑转换结构实现直接的横向耦合;半导体激光器芯片输出波长可以在微谐振腔的谐振波长附近调谐;光放大器芯片的工作波...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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