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本发明公开一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法。该柔性矢量流速传感器包括：柔性薄膜基底、压阻传感单元和信号引线；在柔性薄膜基底上设置有孔，在孔中由孔边缘向孔中心延伸出4个悬臂梁；任意相邻的两个悬臂梁相互垂直，任意间隔设置的两个...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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