一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法技术

本发明专利技术公开一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法。该柔性矢量流速传感器包括：柔性薄膜基底、压阻传感单元和信号引线；在柔性薄膜基底上设置有孔，在孔中由孔边缘向孔中心延伸出4个悬臂梁；任意相邻的两个悬臂梁相互垂直，任意间隔设置的两个悬臂梁共线；压阻传感单元的数量与悬臂梁的数量相同；每个压阻传感单元固定在对应的悬臂梁上且与柔性薄膜基底相接触；信号引线的数量是压阻传感单元的数量的2倍；每个信号引线均固定在柔性薄膜基底上；每个信号引线的一端均连接到对应的压阻传感单元，另一端延伸至柔性薄膜基底的边缘。本发明专利技术能够检测来流速度和方向并避免对流场产生干扰。

A flexible vector velocity sensor, sensor array and sensor preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法
本专利技术涉及流场检测领域，特别是涉及一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法。
技术介绍
航行器在人类生产、科研活动中扮演者越来越重要的角色。而航行器表面的流场检测决定着航行器的稳定性与可控制性，因此实现航行器表面的实时流场检测有着重要的意义。目前常用的流速测量方法有机械测速、皮托管测速、热线流速仪测速和光栅法测速等，但是这些流速测量方法在测量航行器表面实时流场时普遍存在着适应性差、受环境影响大、可靠性差、结构复杂等缺点。CN201710141128公开了一种仿生气体流速传感器，该传感器依靠流场中悬臂梁由于流固耦合原理产生偏转，从而得到流场信息。但这种悬臂梁式的传感器的悬臂梁伸出到流场中，势必会对流场产生干扰，难以应用于航行器的表面。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种柔性矢量流速传感器、传感器阵列及传感器制备方法，避免对流场产生干扰。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：一种柔性矢量流速传感器，包括：柔性薄膜基底、压阻传感单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性矢量流速传感器，其特征在于，包括：柔性薄膜基底、压阻传感单元和信号引线；/n在所述柔性薄膜基底上设置有孔，在所述孔中由孔边缘向孔中心延伸出4个悬臂梁；任意相邻的两个所述悬臂梁相互垂直，任意间隔设置的两个所述悬臂梁共线；所述压阻传感单元的数量与所述悬臂梁的数量相同；每个所述压阻传感单元固定在对应的悬臂梁上且与所述柔性薄膜基底相接触；所述信号引线的数量是所述压阻传感单元的数量的2倍；每个所述信号引线均固定在所述柔性薄膜基底上；每个所述信号引线的一端均连接到对应的压阻传感单元，另一端延伸至所述柔性薄膜基底的边缘；/n所述柔性薄膜基底用于粘贴在待测物表面；所述悬臂梁用于在流场作用下产生振动...

【技术特征摘要】
1.一种柔性矢量流速传感器，其特征在于，包括：柔性薄膜基底、压阻传感单元和信号引线；
在所述柔性薄膜基底上设置有孔，在所述孔中由孔边缘向孔中心延伸出4个悬臂梁；任意相邻的两个所述悬臂梁相互垂直，任意间隔设置的两个所述悬臂梁共线；所述压阻传感单元的数量与所述悬臂梁的数量相同；每个所述压阻传感单元固定在对应的悬臂梁上且与所述柔性薄膜基底相接触；所述信号引线的数量是所述压阻传感单元的数量的2倍；每个所述信号引线均固定在所述柔性薄膜基底上；每个所述信号引线的一端均连接到对应的压阻传感单元，另一端延伸至所述柔性薄膜基底的边缘；
所述柔性薄膜基底用于粘贴在待测物表面；所述悬臂梁用于在流场作用下产生振动；所述压阻传感单元用于将在所述悬臂梁的振动作用下产生的应力变化转换为电阻变化。


2.根据权利要求1所述的柔性矢量流速传感器，其特征在于，所述柔性薄膜基底与所述悬臂梁的材质均为聚酰亚胺。


3.根据权利要求1所述的柔性矢量流速传感器，其特征在于，所述悬臂梁的上表面与所述柔性薄膜基底的上表面平齐；所述悬臂梁的厚度小于所述柔性薄膜基底的厚度。


4.根据权利要求1所述的柔性矢量流速传感器，其特征在于，所述压阻传感单元设置在所述悬臂梁的上表面。


5.根据权利要求1所述的柔性矢量流速传感器，其特征在于，所述压阻传感单元包括第一压阻传感条、两个第二压阻传感条和两个第三压阻传感条；所述第一压阻传感条位于所述悬臂梁上，两个所述第三压阻传感条位于所述柔性薄...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋永刚，董子豪，张德远，沈大卫，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：北京;11