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一种新型声表面波传感器制造技术
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下载一种新型声表面波传感器的技术资料
文档序号:23083539
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本发明公开了一种新型声表面波传感器,采用钽酸锂材料制成声表面波传感器,产生水平剪切波;在声表面波传感器的压电基板上安装叉指式换能器电极,并在声表面波传感器表面镀一层与波传播方向垂直的二氧化硅脊阵列,所述叉指式换能器电极、二氧化硅脊阵列间隔设...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。
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