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本申请提供了一种生物电子芯片及其制作方法，涉及生物检测技术领域。首先基于衬底的一侧制作包含栅电极层的芯片本体，然后基于栅电极层远离衬底的一侧制作缓冲层，再基于缓冲层远离衬底的一侧制作偶联分子层；其中，偶联分子层包括第一酶联分子，最后沿偶联分...
该专利属于广东省半导体产业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东省半导体产业技术研究院授权不得商用。

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