下载生产大块硅碳化物的方法的技术资料

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一种生产大块硅碳化物的方法,该方法包含提供升华炉的步骤,该升华炉包含炉壳、至少一个置于炉壳外的加热元件、以及置于炉壳内通过绝缘物围绕的热区。该热区包含坩埚,该坩埚具有置于其下部区中的硅碳化物先驱物及置于其上部区中的硅碳化物晶种。将该热区加热...
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