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本公开包括研磨系统，该研磨系统包括温度控制系统系统，用于在研磨时加热或冷却研磨板。该温度控制系统可包括闭合回路流体系统和/或一个或多个电阻加热元件。在一些实施例中，冷却系统可以在研磨期间控制研磨板的温度至+/‑5℃、或者甚至+/‑0.5℃以...
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