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本实用新型公开了一种镀膜设备中的加热传感装置及镀膜设备。该装置包括温度传感部件、控制部件和加热传感基板，其中，加热传感基板包括第一磁场产生部件、第二磁场产生部件、第一热量产生部件和第二热量产生部件，第一热量产生部件与第一磁场产生部件对应设置...
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