下载一种FPC的技术资料

文档序号:23023601

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本实用新型公开了一种FPC,其包括基材层和至少一层堆叠层,所述堆叠层包括设于所述基材层上方的ZrAlN层和设于所述ZrAlN层的上方铜层。ZrAlN层为将质量比为1:1的氮化锆和氮化铝混合物挤压成型做成靶材后再将靶材通过磁控溅射到基材层上的...
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