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基板支架制造技术
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文档序号:23017543
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本发明的目的之一在于提供具备夹持器的创造性的基板支架。公开如下基板支架,其用于通过在框架间夹着基板来保持基板,基板支架具备前框架、后框架以及一个或多个夹持器,夹持器分别具有:具备钩基座与钩主体的钩部和具备至少一个爪的板件,夹持器的至少一个具...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
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