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本发明涉及精密机械及电子技术技术领域,具体公开了一种基于视觉系统的高精密对位装置,包括减震台、精密对位平台和视觉检测装置;所述精密对位平台包括动平台、定平台和驱动机构;所述动平台设于定平台的上方;动平台与定平台相互平行;所述定平台与动平台之...该专利属于广州中国科学院先进技术研究所;深圳市中科德睿智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州中国科学院先进技术研究所;深圳市中科德睿智能科技有限公司授权不得商用。