一种基于视觉系统的高精密对位装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及精密机械及电子技术技术领域，具体公开了一种基于视觉系统的高精密对位装置，包括减震台、精密对位平台和视觉检测装置；所述精密对位平台包括动平台、定平台和驱动机构；所述动平台设于定平台的上方；动平台与定平台相互平行；所述定平台与动平台之间设置有导向机构；所述视觉检测装置包括工业相机、光源和相机支架；所述相机支架的底部安装于减震台上，其顶部安装有工业相机和光源。本发明专利技术通过视觉系统辅助，闭环控制对位平台，避免了由于平台存在一定零件尺寸加工误差、机构装配误差、运动间隙误差以及控制器驱动误差而造成的对位精密低的情况，确保对位平台实际对位位姿和目标位姿是高度一致。

A high precision alignment device based on vision system

【技术实现步骤摘要】
一种基于视觉系统的高精密对位装置
本专利技术涉及精密机械及电子
，具体涉及一种基于视觉系统的高精密对位装置。
技术介绍
目前，随着科学技术的不断进步和发展，机器人技术成为了行业中生产力和科技水平的标准，高精密对位技术作为目前机器人
中具有显著代表性的高尖端技术，是微型机械、超精密加工、纳米技术以及半导体等领域的关键核心技术，被广泛应用到LCD液晶显示器、网络印刷设备、表明贴装技术(SMT)以及集成电路制造等，但这其中大多数还是靠人工完成，所需精度很高，所以不仅操作困难，而且效率较低，远远不能满足现代工业自动化要求程度。为了提高产品加工质量，加快对位效率，需要一台高精密对位装置。公知的对位装置多采用XYθ串联机构和UVW平面并联对位平台，XYθ串联机构由于自身机构限制，存在误差累加，而UVW对位精度则相对较高。但这些对位平台大多数没有视觉系统辅助，开环控制对位平台，或者靠眼睛观察对位程度，无法精确确定对位平台实际对位位姿和目标位姿是否一致，实际上由于平台存在一定零件尺寸加工误差、机构装配误差、运动间隙误差以及控制器驱动误差，这本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，包括：减震台(10)、精密对位平台(20)和视觉检测装置(30)；所述精密对位平台(20)包括动平台(2)、定平台(1)和驱动机构；所述动平台(2)设于定平台(1)的上方；动平台(2)与定平台(1)相互平行；所述定平台(1)与动平台(2)之间设置有导向机构；所述视觉检测装置(30)包括工业相机(301)、光源(302)和相机支架(303)；所述相机支架(303)的底部安装于减震台(10)上，相机支架(303)的顶部安装有工业相机(301)和光源(302)；/n所述导向机构包括三套导向组件(3)；/n所述导向组件(3)包括第一直线运动导向元件(4...

【技术特征摘要】
1.一种基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，包括：减震台(10)、精密对位平台(20)和视觉检测装置(30)；所述精密对位平台(20)包括动平台(2)、定平台(1)和驱动机构；所述动平台(2)设于定平台(1)的上方；动平台(2)与定平台(1)相互平行；所述定平台(1)与动平台(2)之间设置有导向机构；所述视觉检测装置(30)包括工业相机(301)、光源(302)和相机支架(303)；所述相机支架(303)的底部安装于减震台(10)上，相机支架(303)的顶部安装有工业相机(301)和光源(302)；
所述导向机构包括三套导向组件(3)；
所述导向组件(3)包括第一直线运动导向元件(4)、第二直线运动导向元件(5)和回转运动导向元件(6)，第一直线运动导向元件(4)的导向方向与第二直线运动导向元件(5)的导向方向相互垂直，并且第一直线运动导向元件(4)中的固定件(8)与第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)相连，第一直线运动导向元件(4)中的活动件(7)通过回转运动导向元件(6)与动平台(2)相连，回转运动导向元件(6)可使动平台(2)相对于第一直线运动导向元件(4)的活动件(7)绕回转运动导向元件(6)的轴心线旋转，回转运动导向元件(6)的轴心线与Z向平行，第二直线运动导向元件(5)的固定件(8)与定平台(1)相连；
其中一套导向组件(3)中的回转运动导向元件(6)与动平台(2)的几何中心相连，并且此导向组件(3)中的第一直线运动导向元件(4)对动平台(2)作X向导向，此导向组件(3)中的第二直线运动导向元件(5)对动平台(2)作Y向导向，驱动机构有三套，其中一套驱动机构驱动此第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)沿Y向移动，进而驱动动平台(2)沿Y向移动；
另外两套导向组件(3)中的回转运动导向元件(6)分别与动平台(2)相连，并且此两回转运动导向元件(6)关于动平台(2)的对称中心中心对称，此两套导向组件(3)中的第一直线运动导向元件(4)对动平台(2)作Y向导向，此两套导向组件(3)中的第二直线运动导向元件(5)对动平台(2)作X向导向，并且另外两套驱动机构各自驱动一第二直线运动导向元件(5)的活动件(7)沿X向移动，进而驱动动平台(2)沿X向移动；
所述定平台(1)与视觉检测装置(30)都安装于减震台(10)上，视觉检测装置(30)的视觉检测部分位于动平台(2)上方。


2.根据权利要求1所述的基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，所述驱动机构包括控制器、伺服电机(92)以及传动机构(93)；控制器通过控制伺服电机(92)驱动传动机构(93)，从而使精密对位平台(20)沿X、Y、θ方向做相应的运动。


3.根据权利要求1所述的基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，所述视觉检测装置(30)还包括标定板(310)；标定板(310)设于动平台(2)上。


4.根据权利要求1所述的基于视觉系统的高精密对位装置，其特征在于，所述导向机构还包括有两套导...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨根，张波涛，王卫军，张弓，冯伟，侯至丞，蔡君义，李友浩，刘杰林，姚迪，
申请(专利权)人：广州中国科学院先进技术研究所，深圳市中科德睿智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44