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本发明公开了一种研磨机构及研磨装置，该研磨机构包括吸附组件和研磨盘。吸附组件限定出真空腔体，吸附组件的一侧与真空气源密封相连；吸附组件的另一侧设有缓冲件，缓冲件上设有与真空腔体连通的第一气孔。研磨盘的一侧设有研磨面，研磨盘的另一侧与缓冲件配...
该专利属于深圳市八零联合装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市八零联合装备有限公司授权不得商用。

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