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本发明公开了一种基于控制力的氧化镓防解理加工方法，采用控制磨削力和卧式平面磨削法对易解理的氧化镓晶片进行磨削加工，步骤为将氧化镓晶片固定在工作台上，其下设有力传感器；分别采用粗、细粒度金刚石砂轮对氧化镓晶片进行粗、精磨削，分别设定粗、精磨削...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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