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液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括：集管，其内形成有流动通道；和多个流体控制阀，它们安装在集管上且包括：液体原材料控制阀；清洗溶液控制阀；吹扫气体控制阀；和第一引入控制阀，它可连接到汽化器上，用于控制从流动通道到汽化器...
该专利属于喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过喜开理株式会社;东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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