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本发明公开了一种光学系统装调策略验证系统,光源装置、第一光学元件和成像装置分别设置在位移装置上,位移装置用于分别控制光源装置、第一光学元件和成像装置的位置,并通过改变第一光学元件的位置而模拟光学系统引入位置误差;促动装置用于向第一光学元件施...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种光学系统装调策略验证系统,光源装置、第一光学元件和成像装置分别设置在位移装置上,位移装置用于分别控制光源装置、第一光学元件和成像装置的位置,并通过改变第一光学元件的位置而模拟光学系统引入位置误差;促动装置用于向第一光学元件施...