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一种倒置式粘涂法制备大面积薄膜的方法技术
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文档序号:22966125
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本发明涉及一种倒置式粘涂法制备大面积器件的方法,适用于电子器件的制备,尤其是制备大面积太阳能电池器件,属器件制备领域。其过程主要包括前驱液的吸附、传递、成膜三个阶段。前驱液吸附主要是滚筒对下方溶液槽中前驱液的吸附,使前驱液粘满滚筒表面;传递...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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