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本申请适用于辉光监测技术领域，提供了一种辉光监测电路、辉光监测装置及刻蚀机，所述辉光监测电路包括：用于将辉光转换为对应的监测电压信号的光电信号转换模块；用于将监测电压信号与参考电压源输出的预设参考电压阈值信号进行比较，并输出对应的电压比较信...
该专利属于深圳方正微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳方正微电子有限公司授权不得商用。

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