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本实用新型公开了一种扩散炉自动炉门，包括门体和锁紧装置，门体通过转轴安装在用于带动门体绕转轴旋转的旋转机构上，旋转机构安装在用于带动旋转机构、门体平行移动的进退机构上，本实用新型具有结构简单紧凑、密封性好、可靠性高、使用寿命长的特点。...
该专利属于青岛海迪克微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛海迪克微电子设备有限公司授权不得商用。

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