【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉自动炉门
本技术属于半导体芯片制造设备
，尤其涉及一种扩散炉自动炉门装置。
技术介绍
扩散是半导体芯片制造过程中至关重要的一步，而其中一些工艺涉及到的酸性气体（如：三氯氧磷）会对周围环境造成污染以及对设备造成腐蚀。现有扩散炉炉门为旋转运动方式，由炉门、炉门固定板、安装板、电机、电机连接杆等部件构成。炉门由安装在安装板上的电机驱动进行旋转，实现炉门的开关。现有扩散炉炉门在开启或闭合时，有时会出现炉门开启或闭合不到位，导致工艺气体的泄露，影响产品质量。
技术实现思路
本技术的目的在于改进已有技术的不足而提供一种结构简单紧凑、密封性好、可靠性高、使用寿命长的扩散炉自动炉门。本技术的目的是这样实现的，一种扩散炉自动炉门，包括门体和锁紧装置，其特点是门体通过转轴安装在用于带动门体绕转轴旋转的旋转机构上，旋转机构安装在用于带动旋转机构、门体平行移动的进退机构上。为了进一步实现本技术的目的，可以是所述的旋转机构是安装门体的转轴通过轴承座安装在进退导向板上，固定在进退导向板上的旋转电机连接驱动...
【技术保护点】
1.一种扩散炉自动炉门，包括门体和锁紧装置，其特征是门体通过转轴安装在用于带动门体绕转轴旋转的旋转机构上，旋转机构安装在用于带动旋转机构、门体平行移动的进退机构上。/n
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉自动炉门，包括门体和锁紧装置，其特征是门体通过转轴安装在用于带动门体绕转轴旋转的旋转机构上，旋转机构安装在用于带动旋转机构、门体平行移动的进退机构上。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉自动炉门，其特征是所述的旋转机构是安装门体的转轴通过轴承座安装在进退导向板上，固定在进退导向板上的旋转电机连接驱动减速机，减速机连接带动转轴。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉自动炉门，其特征是所述的进退机构是在底座上设有上、下两条导轨，每条导轨上安装有一导...
【专利技术属性】
技术研发人员：梅兴东，
申请(专利权)人：青岛海迪克微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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